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微机电系统设计与制造
| ISBN/价格： | 7-5025-5237-5:CNY30.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统设计与制造/.莫锦秋著 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2004.03 |
| 载体形态项： | 177页:;+26cm |
| 丛编项： | 光机电一体化丛书 |
| 提要文摘： | 本书主要从普及的角度介绍微机电系统及其相关技术，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行介绍。 |
| 题名主题： | 微电机 普及读物 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 莫锦秋 著 |
| 记录来源： | CN 安徽儒林 20041222 |