ISBN/价格: | 7-5639-1300-9:CNY50.00 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | 电子束曝光微纳加工技术/.顾文琪主编 |
出版发行项: | 北京:,北京工业大学出版社:,2004.7 |
载体形态项: | 310页:;+图:;+26cm |
丛编项: | 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 |
提要文摘: | 本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景,同时,详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标,电子光学柱、精密工件台等分部件和掩模版制作、电子束直刻等关键技术。 |
题名主题: | 电子束 曝光 研究 |
中图分类: | TL501 |
个人名称等同: | 顾文琪 主编 |
记录来源: | CN LCTBU 20041220 |