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电子束曝光微纳加工技术
| ISBN/价格： | 7-5639-1300-9:CNY50.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 电子束曝光微纳加工技术/.顾文琪主编 |
| 出版发行项： | 北京:,北京工业大学出版社:,2004.7 |
| 载体形态项： | 310页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 |
| 提要文摘： | 本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景，同时，详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标，电子光学柱、精密工件台等分部件和掩模版制作、电子束直刻等关键技术。 |
| 题名主题： | 电子束 曝光 研究 |
| 中图分类： | TL501 |
| 个人名称等同： | 顾文琪 主编 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20041220 |