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微系统设计
| ISBN/价格： | 7-121-00422-4:CNY59.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微系统设计/.[美]Stephen D.Senturia编/.刘泽文,王晓红,黄庆安译 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2004.11 |
| 载体形态项： | 14,453页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 国外电子与通信教材系列 |
| 提要文摘： | 本书是美国麻省理工学院（MIT）Senturia 教授根据自己在MIT电子工程系所讲授的课程的基础上进行扩展而编写的研究生教材，已经被美国10多所大学采用（包括斯坦福等著名大学）。本书系统全面地介绍了涉及微机电系统（MEMS）设计的方法、理论和技术，包括MEMS制作工艺和封装技? |
| 并列题名： | Microsystem esign eng |
| 题名主题： | 微电机教材 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | D.Senturia Stephen 编 |
| 个人名称次要： | 刘泽文 译 |
| 个人名称次要： | 王晓红 译 |
| 个人名称次要： | 黄庆安 译 |
| 记录来源： | CN 安徽儒林 20050317 |