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微电子生产工艺实用手册
| ISBN/价格： | 7-5053-1527-7:￥10.50 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微电子生产工艺实用手册/.王家源,刘长恩主编 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,1992.6 |
| 载体形态项： | 437页:;+32开 |
| 提要文摘： | 本书共收入了微电子产品制造技术、生产工艺、生产装置、成套设备、检测仪器、原辅材料、辅助设施、工具及零部件等方面的词条900余条,并附汉-英和英-汉词条索引。 |
| 题名主题： | 微电子技术-生产工艺 手册 |
| 中图分类： | TN05-62 |
| 个人名称等同： | 王家源 主编 |
| 个人名称等同： | 刘长恩 主编 |
| 记录来源： | CN NLC 20051018 |