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微纳加工中的精密工件台技术
| ISBN/价格： | 7-5639-1432-3:CNY45.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳加工中的精密工件台技术/.刘俊标等著 |
| 出版发行项： | 北京:,北京工业大学出版社:,2004.12 |
| 载体形态项： | 278页:;+16开 |
| 一般附注： | 电子束.离子束.光子束微纳加工技术系列专著 |
| 题名主题： | 超大规模集成电路 集成电路工艺 电子束光刻 设备 |
| 中图分类： | TN470.598 |
| 个人名称等同： | 刘俊标等 著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20051202 |