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微机电系统设计与制造
| ISBN/价格： | 7-118-04121-1:RMB32.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统设计与制造/.刘晓明，朱钟淦编著 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2006.1 |
| 载体形态项： | 371页:;+16开 |
| 丛编项： | 研究生系列规划教材 |
| 提要文摘： | 本书内容包括：MEMS的概论，MEMS的设计，集成电路基本制造技术，MEMS的制造技术，微传感器，微执业器以及MEMS的应用及检测技术。 |
| 题名主题： | 微电机 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 刘晓明 编著 |
| 个人名称等同： | 朱钟淦 编著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20060314 |