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微纳米加工技术及其应用
| ISBN/价格： | 7-04-016880-4:CNY40.20 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳米加工技术及其应用/.崔铮著 |
| 出版发行项： | 北京:,高等教育出版社:,2005 |
| 载体形态项： | 10,293页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书系统地介绍了微纳米技术的基础，对各种加工技术着重讲清原理，列举基本的工艺步骤，说明各种工艺条件的由来，并注意给出典型工艺参数，充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程中的注意事项。 |
| 并列题名： | Micro-Nanofabrication Technologies and Applications eng |
| 题名主题： | 纳米材料 新技术应用 |
| 题名主题： | 纳米材料 |
| 题名主题： | 新技术应用 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 崔铮 著 |
| 记录来源： | CN CQXH 20060612 |