ISBN/价格: | 7-5025-8158-8:28.00 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | 微电子机械系统/.姜岩峰编著 |
出版发行项: | 北京:,化学工业出版社:,2006.3 |
载体形态项: | 194页:;+26cm |
提要文摘: | 本书介绍了微电子机械系统相关的基础知识,主要工艺和器件结构等方面内容,对该领域的热点研究问题进行了探讨. |
题名主题: | 微电子技术 电子机械 机械系统 |
中图分类: | TH-39 |
个人名称等同: | 姜岩峰 编著 |
记录来源: | CN hybooks 20060613 |