书目信息 机读格式(MARC)
微电子化学技术基础
| ISBN/价格： | 7-5025-6548-5:CNY44.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微电子化学技术基础/.刘玉岭, 李薇薇, 周建伟编 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2005 |
| 载体形态项： | 401页:;+26cm |
| 一般附注： | 高等学校教材 |
| 提要文摘： | 本书介绍了超大规模集成电路相关的化学技术，内容涉及硅材料及硅化合物化学性质、衬底加工、环境净化、净化水的制备、净洗技术、硅气相外延等。 |
| 题名主题： | 微电子技术 化学 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 刘玉岭 编 |
| 个人名称等同： | 李薇薇 编 |
| 个人名称等同： | 周建伟 编 |
| 记录来源： | CN 110019 20060726 |