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微加工导论
| ISBN/价格： | 7-121-01981-7:CNY65.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微加工导论/.(芬) Sami Franssila著/.陈迪等译 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2006 |
| 载体形态项： | 20, 444页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 国外电子与通信教材系列 |
| 提要文摘： | 本书介绍了微加工的材料、基本工艺、结构、工艺集成、设备和制造等各个方面。书中还介绍了微加工技术涉及的净化室、成品率、晶圆厂、摩尔定律等。 |
| 并列题名： | Introduction to microfabrication eng |
| 题名主题： | 特种加工 |
| 中图分类： | TG66 |
| 个人名称等同： | 弗兰西拉, S. 著 |
| 个人名称次要： | 陈迪 译 |
| 记录来源： | CN RULIN 20060819 |