| ISBN/价格： | 7-121-01987-6:CNY68.00 |
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| 作品语种： | chi eng |
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| 出版国别： | CN 110000 |
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| 题名责任者项： | 硅超大规模集成电路工艺技术/.(美) James D. Plummer, Michael D. Deal, Peter B. Griffin著/.严利人, 王玉东, 熊小义等译 |
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| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2005 |
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| 载体形态项： | 17, 618页:;+图:;+26cm |
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| 丛编项： | 国外电子与通信教材系列 |
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| 提要文摘： | 本书不仅介绍了与超大规模集成电路芯片生产制造相关的实际工艺技术，而且着重讲解了这些工艺技术背后的科学原理。特别是对于每一步单项工艺技术，书中都通过工艺模型和工艺模拟软件，直观地给出了实际工艺过程的物理图像。 |
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| 并列题名： | Silicon VLSI technology eng |
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| 题名主题： | 硅 超大规模集成电路 生产工艺 |
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| 题名主题： | 硅 |
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| 题名主题： | 超大规模集成电路 |
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| 题名主题： | 生产工艺 |
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| 中图分类： | TN470.5 |
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| 个人名称等同： | 普卢默, J. D. 著 |
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| 个人名称等同： | 迪尔, M. D. 著 |
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| 个人名称等同： | 格里芬, P. B. 著 |
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| 个人名称次要： | 严利人 译 |
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| 个人名称次要： | 王玉东 译 |
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| 个人名称次要： | 熊小义 译 |
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| 记录来源： | CN RULIN 20060821 |
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