书目信息 机读格式(MARC)
Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control /
| ISBN： | 0471784060 (cloth : alk. paper) |
|---|---|
| ISBN： | 9780471784067 |
| 编目源： | DLC DLC UKM BAKER C#P COO DLC |
| 语种代码： | eng |
| 个人名称： | May, Gary S. |
| 题名： | Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control / Gary S. May, Costas J. Spanos. |
| 出版发行项： | [Piscataway] : Hoboken, N.J. : IEEE ; Wiley-Interscience, c2006. |
| 载体形态： | xix, 463 p. : ill. ; 25 cm. |
| 书目附注： | Includes bibliographical references and index. |