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聚焦离子束微纳加工技术
| ISBN/价格： | 7-5639-1690-3:CNY55.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 聚焦离子束微纳加工技术/.顾文琪，马向国，李文萍著 |
| 出版发行项： | 北京:,北京工业大学出版社:,2006 |
| 载体形态项： | 344页:;+图，肖像:;+27cm |
| 丛编项： | 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 |
| 一般附注： | 国家科学技术学术著作出版基金资助 |
| 提要文摘： | 本书重点讲述聚焦离子束技术的原理；聚焦离子束系统的结构，包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等；还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。 |
| 题名主题： | 离子束聚变装置 离子束加工 |
| 中图分类： | TL632 |
| 中图分类： | TN405.98 |
| 个人名称等同： | 顾文琪 著 |
| 个人名称等同： | 马向国 著 |
| 个人名称等同： | 李文萍 著 |
| 记录来源： | CN 110019 20070515 |