ISBN/价格: | 7-5639-1690-3:CNY55.00 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | 聚焦离子束微纳加工技术/.顾文琪,马向国,李文萍著 |
出版发行项: | 北京:,北京工业大学出版社:,2006 |
载体形态项: | 344页:;+图,肖像:;+27cm |
丛编项: | 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 |
一般附注: | 国家科学技术学术著作出版基金资助 |
提要文摘: | 本书重点讲述聚焦离子束技术的原理;聚焦离子束系统的结构,包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等;还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。 |
题名主题: | 离子束聚变装置 离子束加工 |
中图分类: | TL632 |
中图分类: | TN405.98 |
个人名称等同: | 顾文琪 著 |
个人名称等同: | 马向国 著 |
个人名称等同: | 李文萍 著 |
记录来源: | CN 110019 20070515 |