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集成电路工艺中的化学品
| ISBN/价格： | 978-7-5025-9934-8:CNY28.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 集成电路工艺中的化学品/.戴猷元，张瑾编 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2007.3 |
| 载体形态项： | 188页:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书系统提供了集成电路制造过程中用到的化学品的使用性能、毒性及安全等方面的信息。内容包括序言、薄膜制备技术及化学品、晶片清洗技术及化学品、光刻技术及化学品等。 |
| 题名主题： | 化工产品 应用 集成电路工艺 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 戴猷元 编 |
| 个人名称等同： | 张瑾 编 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20080925 |