书目信息 机读格式(MARC)
固体薄膜材料与制备技术
| ISBN/价格： | 978-7-03-021206-1:CNY30.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 固体薄膜材料与制备技术/.宁兆元等编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2008.5 |
| 载体形态项： | 131页:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书共分10章，内容包括：薄膜的特征、真空技术基础、等离子体技术基础、薄膜的物理气相沉积、化学气相沉积、膜厚和沉积速率的测量、低介电常数薄膜材料等。 |
| 并列题名： | Thin solid film materials and preparation technology eng |
| 题名主题： | 薄膜 工程材料 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 宁兆元 编著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20090312 |