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微电子机械系统力学性能及尺寸效应
| ISBN/价格： | 978-7-111-25575-8:CNY30.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微电子机械系统力学性能及尺寸效应/.刘凯，韩光平著 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2009.2 |
| 载体形态项： | 11,209页:;+图:;+21cm |
| 提要文摘： | 微电子机械系统(MEMS)是一门多学科的交叉技术。本书系统的阐述了微电子机械系统尺寸效应理论及其应用，较全面的反映了这一领域的研究现状。 |
| 题名主题： | 微电子学 机械系统 力学 研究 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 刘凯 著 |
| 个人名称等同： | 韩光平 著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20091023 |