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微机电系统(MEMS)原理、设计和分析
| ISBN/价格： | 978-7-5606-2223-1:CNY30.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 710071 |
| 题名责任者项： | 微机电系统(MEMS)原理、设计和分析/.田文超编著 |
| 出版发行项： | 西安:,西安电子科技大学出版社:,2009 |
| 载体形态项： | 250页:;+26cm |
| 一般附注： | 青年学术文库 |
| 提要文摘： | 本书内容包括：微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性等。 |
| 题名主题： | 微电机 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 田文超 编著 |
| 记录来源： | CN 重大书店 20100317 |