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半导体制造与过程控制基础
| ISBN/价格： | 978-7-111-25665-6:CNY60.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 半导体制造与过程控制基础/.(美)Gary S. May，(美)Costas J. Spanos著/.李虹等译 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2009.1 |
| 载体形态项： | 11,377页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 国际信息工程先进技术译丛 |
| 提要文摘： | 本书详细地研究并阐述了在高产量制造环境中，电子材料和供料转换为完善的集成电路和电子产品的过程和方法。 |
| 题名主题： | 半导体工艺 |
| 中图分类： | TN305 |
| 个人名称等同： | 梅凯瑞 (美) (May Gary S.) 著 |
| 个人名称等同： | 斯帕诺斯 (美) (Spanos Costas J.) 著 |
| 个人名称次要： | 李虹 译 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20100607 |