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《微机电系统应用》

微机电系统应用

ISBN/价格:978-7-111-26733-1:CNY108.00
作品语种:chi eng
出版国别:CN 110000
题名责任者项:微机电系统应用/.(美)Mohamed Gad-el-Hak编/.张海霞等译
出版发行项:北京:,机械工业出版社:,2009.7
载体形态项:10,467页:;+图:;+26cm
丛编项:国际机械工程先进技术译丛
一般附注:据原书第2版译出
提要文摘:本书内容包括:惯性传感器、微机械压力传感器、表面微加工器件、微执行器、湍流传感器与执行器、微机器人技术、微型真空泵、非线性动电器件、微液滴发生器等。
并列题名:MEMS applications
题名主题:微电子技术
中图分类:TN4
个人名称等同:Gad-el-Hak Mohamed 编
个人名称次要:张海霞 译
记录来源:CN LCTVU 20121102
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