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微机电系统工程基础
| ISBN/价格： | 978-7-312-02468-9:CNY38.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 340000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统工程基础/.王琪民, 刘明侯, 秦丰华编著 |
| 出版发行项： | 合肥:,中国科学技术大学出版社:,2010.1 |
| 载体形态项： | x, 370页, [2] 页图版:;+图 (部分彩图):;+23cm |
| 一般附注： | 普通高等教育“十一五”国家级规划教材 |
| 提要文摘： | 本书主要介绍相关的工程基础知识。本书共11章, 较为详细介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作原理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计等, 还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基本知识, 分析了微系统中的工程特点等。 |
| 题名主题： | 微电子技术 系统工程 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 王琪民 编著 |
| 个人名称等同： | 刘明侯 编著 |
| 个人名称等同： | 秦丰华 编著 |
| 记录来源： | CN 三新书业 20100831 |