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微机电系统与设计
| ISBN/价格： | 978-7-121-10808-2:CNY28.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统与设计/.娄利飞编著 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2010.5 |
| 载体形态项： | 204页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | 电子信息与电气学科规划教材 电子科学与技术专业 |
| 提要文摘： | 本书共8章，内容包括：微机电系统概论、微机电系统的工作原理、用于微机电系统的材料、微机电系统的相关制造技术、微机电系统的设计和建模、微机电系统设计中的工程力学和尺度效应等。 |
| 题名主题： | 微电子技术 高等学校 教材 |
| 题名主题： | 微电子技术 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 娄利飞 编著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20110118 |