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用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
| ISBN/价格： | 978-7-03-026862-4:CNY35.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统/.Rebecca Cheung著/.王晓浩，唐飞，王文弢译 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2010.3 |
| 载体形态项： | 121页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 微纳技术著作丛书 |
| 提要文摘： | 碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等，越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注，不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。本书是目前译者见到的唯一一本系统论述碳化硅微机电系统的著作，作者是来自英国、美国从事碳化硅微机电系统研究的几位学者，他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状，汇聚了作者大量的经验和智慧。 |
| 题名主题： | 半导体材料 微电子技术 研究 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | Cheung Rebecca 著 |
| 个人名称次要： | 王晓浩 译 |
| 个人名称次要： | 唐飞 译 |
| 个人名称次要： | 王文弢 译 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20110301 |