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微纳加工科学原理
| ISBN/价格： | 978-7-121-11018-4:CNY89.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳加工科学原理/.唐天同，王兆宏著 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2010.6 |
| 载体形态项： | 10,525页:;+27cm |
| 丛编项： | 信息科学与工程系列专著 |
| 一般附注： | 国家科学技术学术著作出版基金 电子信息科技专著出版专项资金资助出版 |
| 提要文摘： | 本书论述现代微米与纳米微细加工的科学原理。主要内容包括：光子、电子、离子和等离子体及其作用，常用的衬底与薄膜材料，微细图形技术，薄膜淀积、蚀刻、外延生长、氧化、扩散和离子注入的过程和方法，以及微细结构的光学、电子显微、声学、扫描探针显微等微观分析和表征手段。 |
| 并列题名： | Science of micro-and nano-fabrication eng |
| 题名主题： | 纳米技术 新技术应用 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 唐天同 著 |
| 个人名称等同： | 王兆宏 著 |
| 记录来源： | 重庆书店 20110615 |