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微机电系统设计:建模、仿真与可视化
| ISBN/价格： | 978-7-03-029220-9:CNY56.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统设计/.卢桂章，赵新著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2010.10 |
| 载体形态项： | 278页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 半导体科学与技术丛书 |
| 提要文摘： | 本书建立了一种微电子机械器件的设计方法，对现有设计系统功能作了一些重要的补充和完善，其基本思路是在设计阶段，当版图和工艺设计完成后，通过建立运动部件的动态模型，进行三维可视化仿真，形成器件在虚拟环境中运行，从而对器件的运动功能进行评测。 |
| 题名主题： | 微电子技术 系统设计 |
| 题名主题： | 微电子技术 |
| 题名主题： | 系统设计 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 卢桂章 著 |
| 个人名称等同： | 赵新 著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20110505 |