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微纳米技术及其应用
| ISBN/价格： | 7-03-015288-3:CNY48.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳米技术及其应用/.李德胜等编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2005.7 |
| 载体形态项： | 285页:;+25CM |
| 提要文摘： | 本书在概述了微机电系统技术（ＭＥＭＳ）的发展背景、现状及应用前景的基础上，论述了ＭＥＭＳ基本理论基础，并对ＭＥＭＳ相关工艺做了详尽的介绍。书中分别介绍了ＭＥＭＳ应用、数种典型的物理传感器和化学传感器的工作原理及制造工艺，并对各类微操作器／微执行器、微机械零件、微泵及微机电系统也做了比较详细的论述，同时介绍了与生物芯片相关的技术及纳米技术。 |
| 题名主题： | 纳米材料 新技术应用 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 李德胜 编著 |
| 记录来源： | CN CQXH 20110531 |