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半导体集成电路制造技术
| ISBN/价格： | 7-04-018299-8:CNY48.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 半导体集成电路制造技术/.张亚非等编著 |
| 出版发行项： | 北京:,高等教育出版社:,2006.6 |
| 载体形态项： | 390页:;+24cm |
| 丛编项： | 长江学者论丛 |
| 提要文摘： | 半导体集成电路发展到今天已经形成一个重大产业，本书主要讲述半导体集成电路产业的制造技术，既有基本原理和工艺技术的阐述，也有国内外近期发展状况介绍。 |
| 题名主题： | 半导体集成电路 高等学校 集成电路工艺 教材 |
| 中图分类： | TN430.5 |
| 个人名称等同： | 张亚非 编著 |
| 记录来源： | CN CSLN 20120306 |