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微纳系统技术与应用
| ISBN/价格： | 978-7-03-032103-9:CNY50.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳系统技术与应用/.姚军，汪为民编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2011.8 |
| 载体形态项： | 216页:;+24cm |
| 丛编项： | 微纳技术著作丛书 |
| 提要文摘： | 本书系统阐述了微纳结构与系统的知识，主要包括微纳系统的基本概念、所用材料、加工方法、在多学科交叉领域的具体应用等。另外，本书还详细探讨了微纳系统领域内一些热点研究方向的最新成果，包括MEMS空间光调制器、MEMS开关、光纤传感器、气体传感器等，并按照设计、加工、测试、封装这一完整流程阐述了研发的方法和技巧，通过实例对各个研发环节的实践经验进行了简明介绍，这都有助于读者在实际工作中的参考。 |
| 题名主题： | 微电子技术 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 姚军 编著 |
| 个人名称等同： | 汪为民 编著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20120328 |