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纳米压印技术
| ISBN/价格： | 978-7-03-032559-4:CNY68.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 纳米压印技术/.周伟民等编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2012.1 |
| 载体形态项： | 255页:;+25cm |
| 提要文摘： | 本书首先简单介绍了纳米压印技术的研究现状；然后系统介绍了压印模板的制备和处理、压印用光刻胶、压印工艺和刻蚀工艺等，并着重阐述了纳米压印加工制造技术。 |
| 题名主题： | 纳米材料 应用 微电子技术 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 周伟民 编著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20120510 |