ISBN/价格: | 978-7-302-27483-4:CNY49.00 |
---|---|
作品语种: | chi |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | 薄膜技术与薄膜材料/.田民波,李正操编著 |
出版发行项: | 北京:,清华大学出版社:,2011.12 |
载体形态项: | 13,531页:;+图:;+26cm |
丛编项: | 材料科学与工程系列 |
提要文摘: | 本书内容有:真空技术基础;真空泵和真空规;真空装置是实际问题;气体放电和低温等离子体;薄膜生长与薄膜结构等。 |
题名主题: | 薄膜技术 |
题名主题: | 薄膜 工程材料 |
中图分类: | TB43 |
个人名称等同: | 田民波 编著 |
个人名称等同: | 李正操 编著 |
记录来源: | CN LCTBU 20120608 |