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薄膜技术与薄膜材料
| ISBN/价格： | 978-7-302-27483-4:CNY49.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 薄膜技术与薄膜材料/.田民波，李正操编著 |
| 出版发行项： | 北京:,清华大学出版社:,2011.12 |
| 载体形态项： | 13,531页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 材料科学与工程系列 |
| 提要文摘： | 本书内容有：真空技术基础；真空泵和真空规；真空装置是实际问题；气体放电和低温等离子体；薄膜生长与薄膜结构等。 |
| 题名主题： | 薄膜技术 |
| 题名主题： | 薄膜 工程材料 |
| 中图分类： | TB43 |
| 个人名称等同： | 田民波 编著 |
| 个人名称等同： | 李正操 编著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20120608 |