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动态微机电系统:理论与应用
| ISBN/价格： | 978-7-03-034316-1:CNY80.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 动态微机电系统/.何广平[等] 编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2012.6 |
| 载体形态项： | 384页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 微纳技术著作丛书 |
| 提要文摘： | 本专著以动态MEMS设计理论为主题，从材料制备技术、系统设计方法、制造工艺方法、建模与控制方法，以及系统应用的角度，较全面深入地介绍当前国内外最新研究成果。本专著内容主要取材于作者课题组近5年在国家自然科学基金资助下取得的科研成果，同时对本专著所涵盖专业领域国内外的主流前沿技术进行系统归纳，使读者能在较短时间内对动态MEMS系统设计获得较为全面的了解，并从中选择自己感兴趣的主题进一步研究，以期对我国MEMS设计理论发展与应用起到一定推动作用。本专著内容安排力求深入浅出，引文详实丰富，从而兼顾初涉本领域的研究生读者和具有相当研究经验基础的读者。因此既可以作为机械电子工程专业研究生教材，也可供材料科学、机械工程、电子工程、控制理论等领域研究和技术人员参考。 |
| 题名主题： | 微电机 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 何广平 编著 |
| 个人名称等同： | 赵明 编著 |
| 个人名称等同： | 赵全亮 编著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20130318 |