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《微光学和纳米光学制造技术》

微光学和纳米光学制造技术

ISBN/价格:978-7-111-39448-8:CNY66.00
作品语种:chi eng
出版国别:CN 110000
题名责任者项:微光学和纳米光学制造技术/.(美)Shanalyn A. Kemme编著/.周海宪,程云芳译
出版发行项:北京:,机械工业出版社:,2012.09
载体形态项:12,196页:;+图:;+24cm
丛编项:国际信息工程先进技术译丛
相关题名附注:封面英文题名:Microoptics and nanooptics fabrication
提要文摘:本书详细介绍了微米光学和纳米光学元件成功的、最新的制造工艺,重点强调了关键性的专业技巧,提供了最新的技术信息,内容包括:面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术。
并列题名:Microoptics and nanooptics fabrication eng
题名主题:微光技术 教材
题名主题:纳米材料 应用 光学元件 制造 教材
中图分类:TN223
中图分类:TH74-39
个人名称等同:Kemme Shanalyn A. (美) (Kemme, Shanalyn A.) 编著
个人名称次要:周海宪 译
个人名称次要:程云芳 译
记录来源:CN 重大书店 20130327
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