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《功能薄膜及其沉积制备技术》

功能薄膜及其沉积制备技术

ISBN/价格:978-7-5024-6026-6:CNY99.00
作品语种:chi
出版国别:CN 110000
题名责任者项:功能薄膜及其沉积制备技术/.戴达煌 ... [等] 编著
出版发行项:北京:,冶金工业出版社:,2013.1
载体形态项:xii, 516页:;+图:;+26cm
提要文摘:本书结合功能薄膜的特点和工程应用与发展实际, 概要地讲述了薄膜的含义、特征和分类及薄膜设计的原则; 重点讲述了气相沉积、三束材料表面改性、复合处理等先进功能薄膜沉积制备方法、原理、工艺特点及适用的领域。
并列题名:Functional thin films and deposition technology eng
题名主题:功能材料 薄膜技术
中图分类:TB43
个人名称等同:戴达煌 编著
个人名称等同:代明江 编著
个人名称等同:侯惠君 编著
记录来源:CN 三新书业 20130427
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