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微米纳米器件测试技术
| ISBN/价格： | 978-7-118-07897-8:CNY88.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微米纳米器件测试技术/.张文栋等编著 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2012.10 |
| 载体形态项： | xx, 259页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列 |
| 提要文摘： | 本书系统介绍了微米纳米结构和器件的几何量、形貌测试表征方法以及微米纳米器件的动态特性、在线测试方法等, 将一些最新观点、最新成果涵盖其中。 |
| 并列题名： | Micro-Nanometer devices measuring technology eng |
| 题名主题： | 纳米材料 微电子技术 电子器件 测试技术 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 张文栋 编著 |
| 记录来源： | CN 三新书业 20130620 |