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薄膜材料科学
| ISBN/价格： | 978-7-118-08144-2:CNY188.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 薄膜材料科学/.(美)Milton Ohring著/.刘卫国[等]译 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2013.02 |
| 载体形态项： | 15,484页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | 装备科技译著出版基金 西安工业大学专著出版基金资助 |
| 提要文摘： | 本书分12章，内容包括：材料科学基础、真空科学与技术、薄膜热蒸发过程、薄膜制备的等离子体与离子束工艺、化学气相沉积、基底表现与薄膜成核、外延生长、薄膜结构等。 |
| 并列题名： | Materials science of thin films eng |
| 题名主题： | 薄膜 工程材料 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | Ohring Milton (美) (Ohring, Milton) 著 |
| 个人名称次要： | 刘卫国 译 |
| 记录来源： | CN 重大书店 20130910 |