| ISBN/价格： | 978-7-81130-436-7:CNY26.00 |
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| 作品语种： | chi |
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| 出版国别： | CN 320000 |
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| 题名责任者项： | 氢化硅薄膜介观力学行为研究和耐高温压力传感器研制/.王权著 |
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| 出版发行项： | 镇江:,江苏大学出版社:,2012.12 |
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| 载体形态项： | 131页:;+图:;+22cm |
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| 丛编项： | 江大学人系列丛书 |
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| 一般附注： | 本书由江苏大学专著出版基金资助 |
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| 提要文摘： | 本书主要针对氢化硅薄膜介观力学行为和耐高温压力传感器这两个问题展开了理论与实验研究。内容包括：氢化硅薄膜的制备和微观表征；衬底对纳米硅薄膜生长的影响等。 |
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| 并列题名： | Research of mesoscopic mechanical behavior of hydrogenated silicon thin film and fbrication of high temperature pressure sensor eng |
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| 题名主题： | 硅 氢化物 薄膜 研究 |
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| 题名主题： | 硅压力传感器 研究 |
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| 题名主题： | 硅 |
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| 题名主题： | 氢化物 |
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| 题名主题： | 薄膜 |
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| 题名主题： | 硅压力传感器 |
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| 中图分类： | O484 |
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| 个人名称等同： | 王权 著 |
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| 记录来源： | CN LCTBU 20130916 |
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