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微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用
| ISBN/价格： | 978-7-03-037825-5:CNY118.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用/.顾长志等编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2013.06 |
| 载体形态项： | 11,353页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 纳米科学与技术 |
| 一般附注： | 国家出版基金项目 |
| 提要文摘： | 本书简述微纳加工的主要方法及纳米材料与纳米器件研究中的应用，注重理论与实践的结合，包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印，刻蚀技术、薄膜技术等研究领域的应用，重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势。 |
| 题名主题： | 纳米材料 新技术应用 |
| 题名主题： | 纳米材料 |
| 题名主题： | 新技术应用 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 顾长志 编著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20131028 |