| ISBN/价格： | 978-7-118-08501-3:CNY99.00 |
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| 作品语种： | chi |
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| 出版国别： | CN 110000 |
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| 题名责任者项： | RF MEMS器件设计、加工和应用/.朱健编著 |
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| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2012.12 |
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| 载体形态项： | xxiii,272页:;+图:;+23cm |
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| 丛编项： | 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列 |
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| 一般附注： | 国家科学技术著作出版基金资助出版 “十二五”国家重点图书出版规划项目 |
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| 提要文摘： | 本书系统地介绍了RF MEMS技术所涵盖的各种器件，以RF MEMS 理论设计和工艺实现为基础，阐述了RF MEMS器件的模型设计、结构制备、性能测试等，详细论述了RF MEMS开关、电感、电容、移相器、谐振器、振荡器、滤波器、天线等器件和 RF MEMS器件的可重构MEMS网络的设计方法、技巧以及工艺技术。最后两章论述了RF MEMS器件的封装技术和可靠性问题。 |
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| 并列题名： | RF MEMS devices design, fabrication, and application eng |
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| 题名主题： | 微电子技术 元器件 |
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| 中图分类： | TN6 |
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| 个人名称等同： | 朱健 编著 |
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| 记录来源： | CN LCTBU 20131125 |
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