ISBN/价格: | 978-7-118-08501-3:CNY99.00 |
作品语种: | chi |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | RF MEMS器件设计、加工和应用/.朱健编著 |
出版发行项: | 北京:,国防工业出版社:,2012.12 |
载体形态项: | xxiii,272页:;+图:;+23cm |
丛编项: | 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列 |
一般附注: | 国家科学技术著作出版基金资助出版 “十二五”国家重点图书出版规划项目 |
提要文摘: | 本书系统地介绍了RF MEMS技术所涵盖的各种器件,以RF MEMS 理论设计和工艺实现为基础,阐述了RF MEMS器件的模型设计、结构制备、性能测试等,详细论述了RF MEMS开关、电感、电容、移相器、谐振器、振荡器、滤波器、天线等器件和 RF MEMS器件的可重构MEMS网络的设计方法、技巧以及工艺技术。最后两章论述了RF MEMS器件的封装技术和可靠性问题。 |
并列题名: | RF MEMS devices design, fabrication, and application eng |
题名主题: | 微电子技术 元器件 |
中图分类: | TN6 |
个人名称等同: | 朱健 编著 |
记录来源: | CN LCTBU 20131125 |