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微纳米加工技术及其应用
| ISBN/价格： | 978-7-04-036974-8:CNY79.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳米加工技术及其应用/.崔铮著 |
| 版本项： | 3版 |
| 出版发行项： | 北京:,高等教育出版社:,2013.4 |
| 载体形态项： | 544页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书集作者多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新发展，综合介绍微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚集离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。 |
| 并列题名： | Micro-nanofabrication technologies and applications eng |
| 题名主题： | 纳米材料 新技术应用 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 崔铮 著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20140318 |