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射频微机电系统的理论、设计、制备及应用
| ISBN/价格： | 978-7-03-038996-1:CNY135.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 射频微机电系统的理论、设计、制备及应用/.张海霞, 缪旻, 方东明著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2014.1 |
| 载体形态项： | 416页:;+图:;+25cm |
| 丛编项： | 纳米制造的基础研究学术著作丛书 |
| 提要文摘： | 本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果，并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试，创新内容较多。本书可作为相关领域本科生、研究生和教师的教学参考书，并可供相关的科技人员参考。 |
| 题名主题： | 微电子技术 射频系统 研究 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 张海霞 著 |
| 个人名称等同： | 缪旻 著 |
| 个人名称等同： | 方东明 著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20120101 |