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纳米尺度几何量和机械量测量技术
| ISBN/价格： | 978-7-5603-3864-4:CNY68.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 230000 |
| 题名责任者项： | 纳米尺度几何量和机械量测量技术/.赵学增, 王伟杰著 |
| 出版发行项： | 哈尔滨:,哈尔滨工业大学出版社:,2012.6 |
| 载体形态项： | 284页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 先进制造理论研究与工程技术系列 |
| 一般附注： | 国家出版基金资助项目 “十二五”国家重点图书 国家出版基金项目 |
| 提要文摘： | 本书共分4章。包括纳米尺度线宽(CD)测量，纳米尺度边缘粗糙度(LER)测量，纳米尺度线高测量，纳米尺度节距、一维栅和二维栅测量，纳米尺度微力、杨氏模量和刚度测量，微纳尺度固液界面边界条件测量，结论。 |
| 并列题名： | Nanostructure and nanomechanics measurement technology eng |
| 题名主题： | 几何量 测量 |
| 题名主题： | 机械量 测量 |
| 中图分类： | TB9 |
| 个人名称等同： | 赵学增 著 |
| 个人名称等同： | 王伟杰 著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20120101 |