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《纳米级CMOS超大规模集成电路可制造性设计》

纳米级CMOS超大规模集成电路可制造性设计

ISBN/价格:978-7-03-040034-5:CNY58.00
作品语种:chi eng
出版国别:CN 110000
题名责任者项:纳米级CMOS超大规模集成电路可制造性设计/.(美) Sandip Kundu, (印) Aswin Sreedhar著/.王昱阳, 谢文遨译
出版发行项:北京:,科学出版社:,2014.5
载体形态项:261页:;+图:;+24cm
相关题名附注:英文题名取自封面
提要文摘:本书的内容包括:CMOSVLSI电路设计的技术趋势;半导体制造技术;光刻技术;工艺和器件的扰动和缺陷分析与建模;面向可制造性的物理设计技术;测量、制造缺陷和缺陷提取;缺陷影响的建模和合格率提高技术;物理设计和可靠性;DFM工具和DFM方法。
并列题名:Nanoscale CMOS VLSI circuits design for manufacturability eng
题名主题:纳米材料 CMOS电路 超大规模集成电路 电路设计
中图分类:TN432.02
个人名称等同:Kundu, Sandip 著
个人名称等同:Sreedhar, Aswin 著
个人名称次要:王昱阳 译
个人名称次要:谢文遨 译
记录来源:CN LCTBU 20140101
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