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微机电系统(MEMS)制造技术
| ISBN/价格： | 978-7-03-039974-8:CNY88.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统(MEMS)制造技术/.苑伟政，乔大勇著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2014.03 |
| 载体形态项： | 240页:;+图:;+25cm |
| 丛编项： | 微纳制造的基础研究学术著作丛书 |
| 一般附注： | 国家科学技术学术著作出版基金资助出版 |
| 相关题名附注： | 封面英文题名：Micro nano manufacturing |
| 提要文摘： | 本书介绍了MEMS制造技术的定义、发展历程和发展趋势；MEMS制造的材料基础；MEMS制造中的沾污及洁净技术等内容。 |
| 并列题名： | Micro nano manufacturing eng |
| 题名主题： | 微电机 生产工艺 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 苑伟政 著 |
| 个人名称等同： | 乔大勇 著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20140410 |