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MEMS材料与工艺手册
| ISBN/价格： | 978-7-5641-4053-3:CNY198.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 320000 |
| 题名责任者项： | MEMS材料与工艺手册/.(美)利萨·格迪斯(Reza Ghodssi)，(美)林斌彦(Pinyen Lin)著/.黄庆安译 |
| 出版发行项： | 南京:,东南大学出版社:,2014.03 |
| 载体形态项： | 11,14,966页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 微纳系统系列译丛 |
| 提要文摘： | 本书主要内容包括：MEMS中半导体材料、介质材料、金属材料、聚合物材料、压电材料、形状记忆合金材料以及封装材料等制备方法及其特性等。 |
| 并列题名： | MEMS materials and processes handbook eng |
| 题名主题： | 微电子技术 电子材料 手册 |
| 题名主题： | 微电子技术 生产工艺 手册 |
| 题名主题： | 微电子技术 |
| 题名主题： | 电子材料 |
| 题名主题： | 生产工艺 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 格迪斯 利萨 著 |
| 个人名称等同： | 林斌彦 (美) (Lin, Pinyen) 著 |
| 个人名称次要： | 黄庆安 译 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20140709 |