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纳米集成电路制造工艺
| ISBN/价格： | 978-7-302-36027-8:CNY69.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 纳米集成电路制造工艺/.张汝京等编著 |
| 出版发行项： | 北京:,清华大学出版社:,2014.07 |
| 载体形态项： | 13,433页:;+图:;+26cm |
| 提要文摘： | 本书介绍纳米集成电路的制造工艺，共分19章。内容涉及集成电路制造工艺的方方面面，很多内容是作者在工作过程中积累整理的。对于相关领域的从业人员，有一定的参考价值。 |
| 并列题名： | Nanoscale integrated circuits——the manufacturing process eng |
| 题名主题： | 纳米材料 集成电路工艺 |
| 题名主题： | 纳米材料 |
| 题名主题： | 集成电路工艺 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 张汝京 编著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20140807 |