| ISBN/价格： | 978-7-111-45837-1:CNY95.00 |
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| 作品语种： | chi ger |
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| 出版国别： | CN 110000 |
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| 题名责任者项： | 微系统光学检测技术/.(德) Wolfgang Osten主编/.王伯雄等译 |
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| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2014.8 |
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| 载体形态项： | XVI, 442页:;+图:;+24cm |
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| 丛编项： | 国际制造业先进技术译丛 |
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| 相关题名附注： | 英文题名取自封面 |
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| 提要文摘： | 本书内容: 微系统的尺度小，材料组合性强，功能多，对它的测量与检测构成了该领域新的挑战。本书内容丰富，覆盖面广，汇聚了各国知名大学共28位作者的卓越成果。书中将检测技术原理与众多应用实例相结合，介绍了微系统检测的应用光学技术，主要提供该领域中典型光学检测技术的全面回顾，包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术、全息术、散斑测量术及光谱技术，同时还详述了上述技术相关数据的获取和处理方法。 |
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| 并列题名： | Optical inspection of microsystems eng |
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| 题名主题： | 微电子技术 光学测量 |
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| 中图分类： | TB96 |
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| 个人名称等同： | Osten Wolfgang 主编 |
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| 个人名称次要： | 王伯雄 译 |
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| 记录来源： | CN LCTBU 20140101 |
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