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微机电系统原理
| ISBN/价格： | 978-7-118-09432-9:CNY180.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi kor |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统原理/.(韩) Ki Bang Lee著/.马晓军...[等] 译 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2014.4 |
| 载体形态项： | 597页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 国防科技著作精品译丛 |
| 提要文摘： | 本书通过一种统一的方法和微观力学问题的解析解(封闭形式解)阐述了MEMS的原理。全书以概述MEMS开始，并介绍了量纲分析，提供了在宏观和微观世界中存在的基本无量纲参数。然后说明了微制造，给出了设计实际MEMS的一般制造工艺相关的知识。提供了元件和系统的理论模型，并获得了静态和动态响应的解析解。 |
| 并列题名： | Principles of microelectromechanical systems eng |
| 题名主题： | 微电机 理论 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 李基邦 著 |
| 个人名称次要： | 马晓军 译 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20140101 |