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非硅MEMS技术及其应用
| ISBN/价格： | 978-7-313-12525-5:CNY150.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 310000 |
| 题名责任者项： | 非硅MEMS技术及其应用/.陈文元，张卫平，陈迪著 |
| 出版发行项： | 上海:,上海交通大学出版社:,2015.03 |
| 载体形态项： | 279页:;+图:;+24cm |
| 一般附注： | 上海科技专著出版资金资助 上海交通大学学术出版基金资助项目 |
| 提要文摘： | 本书详细叙述了非硅MEMS技术的特点，非硅材料，三维非硅微加工新技术，新型非硅微传感器和微执行器等非硅MEMS技术及其应用。 |
| 题名主题： | 微电子技术 研究 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 陈文元 著 |
| 个人名称等同： | 张卫平 著 |
| 个人名称等同： | 陈迪 著 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20150528 |