| ISBN/价格： | 978-7-118-09583-8:CNY99.00 |
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| 作品语种： | chi |
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| 出版国别： | CN 110000 |
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| 题名责任者项： | MEMS集成设计技术及应用/.苑伟政，谢建兵，焦文龙著 |
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| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2014.11 |
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| 载体形态项： | 18,294页，16页图版:;+图:;+24cm |
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| 丛编项： | 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列 |
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| 一般附注： | 国防科技图书出版基金 “十二五”国家重点图书出版规划项目 |
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| 提要文摘： | 本书首先在介绍MEMS设计技术与设计工具基础之上，对MEMS设计的关键技术——系统级设计技术、器件级设计技术、工艺级设计技术以及各层级转换接口技术，进行了分析与论述。然后对基于这些关键技术和泛结构化MEMS集成设计方法的MEMS Garden的特色做了介绍，并通过杠杆放大微加速度计说明了其操作方法。最后，通过大量不同种类的MEMS器件的设计实例验证了MEMS Garden的通用性与先进性。 |
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| 并列题名： | MEMS integrated design technologies and their applications eng |
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| 题名主题： | 微电子技术 研究 |
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| 中图分类： | TN4 |
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| 个人名称等同： | 苑伟政 著 |
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| 个人名称等同： | 谢建兵 著 |
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| 个人名称等同： | 焦文龙 著 |
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| 记录来源： | CN 人天书店 20150122 |
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