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微米纳米器件设计
| ISBN/价格： | 978-7-118-09784-9:CNY118.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微米纳米器件设计/.黄庆安，周再发，宋竞著 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2014.12 |
| 载体形态项： | 19,358页，16页图版:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 微米纳米技术丛书 |
| 一般附注： | 国防科技图书出版基金 “十二五”国家重点图书出版规划项目 |
| 提要文摘： | 本书主要介绍MEMS器件、系统和工艺的模型、模拟以及设计方法。内容包括：MEMS设计框架、MEMS器件级模型与模拟、MEMS器件宏模型与系统级设计、MEMS工艺级模型与模拟和MEMS设计基础。 |
| 并列题名： | Design of micro/nano deviceseng eng |
| 题名主题： | 纳米材料 微电子技术 电子器件 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 黄庆安 著 |
| 个人名称等同： | 周再发 著 |
| 个人名称等同： | 宋竞 著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20150409 |