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氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例
| ISBN/价格： | 978-7-5024-6917-7:CNY25.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例/.赵祥敏，赵文海著 |
| 出版发行项： | 北京:,冶金工业出版社:,2015.06 |
| 载体形态项： | 10,132页:;+图:;+21cm |
| 提要文摘： | 本书以实例的形式，介绍了用磁控溅射法制备氧化锌(ZnO)薄膜、氮化铝(AlN)薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章，主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用，ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段等内容。 |
| 题名主题： | 氧化锌 薄膜技术 |
| 题名主题： | 氮化铝 薄膜技术 |
| 中图分类： | TB43 |
| 个人名称等同： | 赵祥敏 著 |
| 个人名称等同： | 赵文海 著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20150731 |